| 초록 |
성장된 결정의 품질은 결정이 성장되어서 냉각되 과정의 복잡한 열이력에 의해 대부분 결정되어진다. 그러므로 결정성장에 있어서 온도분포관찰은 매우 중요한 연구과제이며아직까지도 완전히 풀리지 않고 있는 문제이다. 특히 열전대를 이용한 직접적인 온도측정이 간단하지 않고, 대구경 wafer의 생산추세에따라 수치해석은 생산효율성을 높이고 cost를 줄이는데 중요한 역할을 하고 있다. 따라서 많은 사람들이 CZ공정의 simulator를 개발하기위해 노력을 기울이고 있는 실정이다. 따라서 많은 사람들이 CZ공정의 simulator를 개발하기위해 노력을 기울이고 있는 실정이다. 세계적으로 3개그룹(MIT의Brown, Erlangenuniversity의 Mueller, University Catholique de Louvain의 Dupret)에서 개발한 code가 가장 신뢰성이 있는 것으로 평가되어지고 있다. 3개의 code 모두 소위 global simulator로서crystal puller 의 모든 부분 즉, crystal, melt, crucible, graphite susceptor, heater,insulation들을 포함하여 온도분포를 예측할수 있다. 본 연구는 앞에서 제시한 3개의 code중의 하나인 Mueller가 개발한 code를 사용하여crystal의 질적인 향상을 위해서 몇 개의 다른 hot zone형태를 제안하고 수치해를 구하여좀더 나은 hot zone형태를 제시하였다.
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