| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 부산 벡스코(BEXCO)) |
| 권호 | 25권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 반도체 클린룸의 AMCs 제거용 다공성 양이온교환 복합필터 제조와 황화수소 및 암모니아 흡착 특성 연구 |
| 초록 | 반도체 산업의 메모리의 고집적화, 회로 패턴의 미세화에 따라 클린룸 공기 중에 존재하는 각종 유기오염물, 파티클, 자연 산화물, 금속 불순물 등 가스상 오염물질(AMCs)이 반도체 포토레지스트 내 잔류물의 요인이 되어 최종적으로 반도체 제품의 품질 문제와 각종 불량을 야기한다. 특히 반도체 클린룸 내부에 다양한 AMCs 중에서 암모니아, 황화수소, 등의 산성 및 알칼리성 극성기체는 표면에 금속불순물이나 산화막의 성장 속도에 영향을 주며 최종적인 반도체 제조공정에 미치는 영향이 중요하게 대두되고 있다. 본 연구에서는 기존 황화수소, 암모니아 등 산성가스의 흡착제거를 위한 이온교환수지가 코팅된 케미컬 에어필터 제조과정에서 분진이 발생하는 것을 최소화하도록 이온교환수지나 이온교환막의 제조에 사용되는 스틸렌/다이비닐벤젠/기공형성제/개시제 등을 일정 비율로 혼합한 후 폴리올레핀계 섬유상 메시 또는 다공성 필름에 코팅한 후에 고온 열중합, 설폰화, 아민화 반응을 통해 다공성 케미컬 필터를 제조하였으며 이들의 이온교환 용량 및 황화수소, 암모니아의 흡착특성을 평가하였다. |
| 저자 | 안이삭1, 민수빈1, 강호철1, 서정권1, 이평수2, 김정훈1 |
| 소속 | 1한국화학(연), 2중앙대 |
| 키워드 | 케미컬 필터; 황화수소; 암모니아 |
