| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (11/25 ~ 11/27, 부산 해운대그랜드호텔) |
| 권호 | 21권 2호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 |
| 제목 | 액상 공정 기반의 Organic Thin Film Transistor(OTFT)의 성능 향상을 위한 변수 조사 |
| 초록 | 액상 공정 기반의 organic thin film transistor(OTFT)의 성능 향상을 위해 tips pentacene의 잉크젯 프린팅 공정에 대한 변수를 조사하였다. 다른 변수에 대한 영향을 최소화하기 위해 SiNx substrate 위에 Au를 증착시켜 source, drain을 형성한 소자를 사용하였다. 그 위에 tips-pentacene을 잉크젯 프린팅 공정으로 형성하여 bottom gate bottom contact 구조로 제작하였다. OTFT의 성능을 높이기 위해서는 tips pentacene의 큰 결정도와 절연층간의 interface trap수를 줄여 계면특성을 향상시켜야한다. 이에 따라, 다양한 프린팅 공정 조건(substrate temperature, spacing size)과 UV를 사용한 표면처리 시간에 따라 OTFT를 제작하고 전기적 특성을 분석하였다. OTFT의 전달 특성(transfer curve) 분석을 통하여 결정도, 밀접한 mobility와 interface trap에 대하여 조사하였다. 이러한 조사를 바탕으로 본 실험에서는 높은 성능의 tips pentacene을 형성하기 위한 조건에 대해 확인할 수 있었다. UV 표면처리를 통하여 hydrophilic(친수성) 표면 상태로 만들어줌에 따라 tips pentacene의 결정도를 높일 수 있었고 substrate temperature, spacing size를 통하여 tips pentacene의 증발 속도를 조절할 수 있으며 이에 따라 결정도 및 계면 특성이 매우 민감하게 변하는 것을 확인하였다. 이러한 프린팅 공정조건에 따른 tips pentacene의 특성 분석은 액상 기반의 OTFT를 개발하는데 중요한 기반이 될 것으로 기대한다. |
| 저자 | 김용상, 윤여혁, 김호진 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | <P>잉크젯 프린팅; Organic TFT; Tips pentacene; Bottom contact</P> |
