| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (04/22 ~ 04/24, 제주 ICC) |
| 권호 | 21권 1호, p.842 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Enhanced moisture barrier property of ZrO2/polymer multilayer structure for flexible OLEDs |
| 초록 | 차세대 디스플레이 및 조명으로 각광받고 있는 유기발광소자는 유기물 기반의 소자로써 수분과 산소에 매우 취약하다는 단점을 가지고 있다. 수분과 산소의 침투 시 소자의 신뢰성 저하 및 암점의 발생으로 봉지 공정이 반드시 필요하다. 본 연구에서는 원자층 증착법(atomic layer deposition)과 PECVD (Plasma Enhanced CVD) 방법을 이용하여 유무기 다층 박막 구조의 배리어 막을 제작하였다. 무기 박막층의 제작을 위해 H2O와 TEMAZ (Tetrakis(ethylmethylamido) Zirconium)를 이용하여 ZrO2를 제작하였고, 유기 박막층 증착을 위해 Hexane과 Argon plasma를 이용하였다. ZrO2 20nm를 다양한 두께로 나누어 유기물 층과 번갈아 증착하여 유무기 다층 구조를 제작하였다. 배리어 특성 평가를 위해 수분투과도 (WVTR; water vapor transmission rate)를 비교 분석하였으며 온도 85℃, 상대습도 85% 조건에서 전기적 칼슘산화시험(electrical calcium test)을 이용하여 측정하였다. 곡률 반경 1mm에서 10,000회 반복굽힘시험(Bending test)을 통해 유연성 평가를 진행하였다. |
| 저자 | 임세희, 서승우, 채영기, 이승환, 조성민 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | Thin Film Encapsulation; Atomic layer deposition; Plasma Enhanced CVD |
| 원문파일 | 초록 보기 |
