| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2009년 봄 (04/15 ~ 04/17, 호텔인터불고(대구)) |
| 권호 |
13권 1호 |
| 발표분야 |
무기재료 |
| 제목 |
A Study of Characteristics of Micro Porous Silica Films fabricated by AFD |
| 초록 |
최근에 알루미나, 지르코니아, 실리카, 티타니아 등을 사용하는 세라믹 분리막이 고분자 분리막이나 금속 분리막에 비해 많은 이점 때문에 다양한 적용분야에서 이들 분리막을 대체하고 있다.또한 유기질 분리막에 비하여 열에 강하고 구조적인 안정성뿐만 아니라 유독물질 및 미생물에 대한 저항성이 좋다.본 연구에서는 반도체 공정을 응용하여 AFD(Aerosol flame depositon) 공정으로 실리콘 기판위에 다공성 실리카 박막을 제조하였다. 실리콘 기판 위에 증착된 SiO2 산화물들은 열처리 온도가 1270℃에서 1320℃까지 증가함에 따라 모든 시료에서 표면이 수 마이크로 이하의 균일한 연속 기공을 갖는 다공성 박막이 형성되었다. 또한 열처리 온도가 증가함에 따라 물질 유동이 일어나 기공의 크기가 균일하게 되고 거칠기가 감소하는 경향을 나타냈었다.제조된 실리카 박막에 대해분리막으로써의 응용 가능성을 조사 하였다. |
| 저자 |
임경택, 김경환, 박준, 김경석, 조동련, 박유정, 송선정
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| 소속 |
전남대 |
| 키워드 |
ceramic membrane; micro porous silica films; AFD
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