| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 | 가열로 열원의 공간적 배치에 따른 Quartz의 열 분포 변화 |
| 초록 | 반도체 제조공정 중 산화, 식각, 이온주입, 화학증착 과정에서 웨이퍼를 불순물로부터 보호하거나 담는 용기의 소재로 사용되는 quartz는 산수소용해로 또는 저항 가열로를 이용하여 ingot, tube 및 cylinder 형태로 제조된다. 이중에서 저항 가열방식에 의해 제조되는 quartz cylinder는 아직 국내에서는 생산 사례가 많지 않아서 가열 및 분위기 등 공정조건을 규명하고자 하는 연구사례가 부족한 실정이다. 본 연구에서는 공정변수 중 가열조건인 온도기울기가 quartz 재질에 미치는 영향을 알아보고자 했다. 온도기울기는 가열로 내에서 열원인 heater로부터 원료인 quartz powder까지의 구간에서 온도 차이를 나타내는데, heater의 공간적 배치에 따라 변화하는 온도기울기가 quartz cylinder의 물성에 미치는 영향을 simulation 및 실제 용융 실험을 통해 분석했다. 실험 결과 quartz cylinder 외부에 장착한 Heater의 개수에 상관없이 quartz cylinder의 내부/외부 온도 차이는 거의 없었고 heater 개수가 많을수록 quartz cylinder 승온속도는 증가했으며, 또한 목표온도 도달 시간 단축하였다. quartz cylinder 내부에 heater를 장착한 경우 quartz 단면에 걸쳐서 온도구배가 균일함을 알 수 있었다. |
| 저자 | 최석우1, 임항준1, 정연웅2 |
| 소속 | 1한국산업기술대, 2(주)디에스테크노 |
| 키워드 | 온도 분포; heater; 가열 속도; cylinder; quartz |
