| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2007년 가을 (10/26 ~ 10/27, 한국과학기술원) |
| 권호 |
13권 2호, p.2294 |
| 발표분야 |
재료 |
| 제목 |
Thermal evaporation 법에 의한 ZnO 박막 위에 단결정 ZnO 나노와이어의 에피 성장 |
| 초록 |
광소자로서 레이징 효과가 우수할 것으로 알려져 있는 ZnO 나노와이어 성장에 관한 많은 연구가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 기존의 ZnO 나노와이어 제조방법과는 달리 촉매를 사용하지 않고, ZnO 나노와이어를 열증착법으로 에피 성장시켰다. 이때 사용된 시료는 금속아연 대신 카본화합물 위에 아연전구체가 도핑된 물질을 이용하였다. ZnO 박막층의 두께는 약 60 nm 이며, 단결정 ZnO 나노와이어의 에피 성장을 위한 완충층으로 이용되었다. 본 연구에서 사용된 실리콘(1 0 0) 기판 위에 성장된 ZnO 나노와이어의 크기와 길이가 주사전자현미경으로 측정되었다. 또한 합성된 ZnO 나노와이어는 XRD 분석 결과, c축 방향으로 성장된 단결정이었으며, PL 분석을 통해 384 nm의 블루 UV영역의 스펙트럼이 강하게 방출되는 것이 관찰되었다. 이들 결과로부터 단결정 ZnO 나노와이어를 에피 성장시키기 위해서는 단결정의 ZnO 박막형성이 중요하다는 것이 확인되었다. |
| 저자 |
이유진1, 박노국1, 한기보1, 윤석훈1, 류시옥1, 이태진1, 이원근1, 배영제2
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| 소속 |
1영남대, 2TPS Inc. |
| 키워드 |
ZnO 나노와이어; ZnO 박막; Thermal evaporation
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
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