| 초록 |
플렉시블 디스플레이의 연구 개발이 국내외적으로 활발하게 진행되고 있다. 이러한 플렉시블 디스플레이의 어려운점 중 하나는 유연기판의 역할을 하는 저저항, 고투과의 박막 전극층이 형성된 고품위 투명 전극 필름의 제조 기술이다. 본 연구에서는 Roll to Roll Sputter장치에 DC Magnetron Source및 RF Magnetron Source를 하나의 Chamber에 동시 적용하여 약 20nm의 AGZO 박막 사이에 약 10nm의 Ag층을 형성시켰다. 저온공정에서 저저항(＜10Ω/□), 고투과도(＞85%)의 투명전극을 얻었으며, 폭 150mm에 균일한 AGZO-Ag-AGZO 성막(Uniformity ±3%이하)을 위한 진공도, Ar및 O2 gas 유량, 전압 등 공정조건을 조사하였고 Plasma Ion Source를 이용한 전처리를 통해서 기판 거칠기 개선, 표면 개질을 통한 막 접착력 향상과 전기적 특성 향상을 위한 연구를 수행 하였다. 이상의 결과를 ITO 박막의 전기적, 구조적 및 광학적 특성과 관련하여 비교 분석 하였다. |
