| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (04/06 ~ 04/07, 일산킨텍스) |
| 권호 | 31권 1호 |
| 발표분야 | 기능성 고분자 |
| 제목 | 플라스틱기판의 TFT-LCD 적용을 위한 열안정성 분석 |
| 초록 | 플라스틱기판을 사용한 TFT-LCD는 가벼우며, 충격에 강한 특성을 지녀, 최근 플라스틱기판 위에 TFT 회로를 형성하는 기술 및 신뢰성 확보를 위한 연구가 진행되고 있다. 특히 TFT 회로 형성 시 플라스틱 기판의 열안정성이 문제가 되어 정렬 오차를 발생시키는 문제가 심각하게 대두되고 있어, 플라스틱 기판의 열안정성에 대한 연구는 필수적이다. 본 연구에서는 PES 기판을 사용하여 여러 조건(온도, 시간등)에 따라 열처리를 한 후, 반도체, 절연막을 증착하는 PECVD 및 Metal, ITO를 증착하는 sputter 방법으로 TFT공정을 재현하였다. 열처리 공정의 온도와 시간의 변화에 따른 플라스틱 기판의 열안정성, 기계적 특성 및 광학적 특성을 평가하였다. 열안정성 및 기계적, 광학적 특성이 우수한 기판을 위한 최적의 열처리 조건을 찾기 위해 TMA와 UTM, Spectrophotometer를 사용하여 분석하였다. |
| 저자 | 최재문1, 김이주2, 황희남2, 김인선1 |
| 소속 | 1주) 아이컴포넌트, 2아이컴포넌트 |
| 키워드 | 플라스틱기판; PES; 열안정성 |
