| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 | 11권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | 마이크로 플라즈마 구현을 위한 MEMS 공정 개발 |
| 초록 | 현재 대부분 산업에서는 플라즈마를 진공반응기 속에서 다양한 형태의 방전을 통해 발생시켜 여러 가지 물질의 증착 및 식각 공정에 활발히 응용 중이다. 본 연구에서는 MEMS공정을 이용하여 Si기판위에 미세 channel을 습식식각 방법을 통하여 형성 후 금속전극을 증착시켜 대기압 상태에서 1～2W의 낮은 전압으로 플라즈마를 마이크로 사이즈로 줄여 발생시켰다. 또한 Channel의 크기를 다양하게(10um～300um) 변화시켜 가면서 마이크로 플라즈마의 발생 특성에 관해 관찰하였다. |
| 저자 | 장수욱1, 이제원1, 박민영1, 유승열1, 노호섭1, 조관식1, 박강수2, 손채화3, 문성진4, 신동현4 |
| 소속 | 1인제대, 2양산고등학교, 3한국전기(연), 4한국과학영재학교 |
| 키워드 | Micro plasma; MEMS; Wet etching |
