| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 | 27권 1호 |
| 발표분야 | B. 나노화학/바이오 재료 분과 |
| 제목 | 전착된 Fe-Ni의 유기산 첨가에 따른 잔류응력 변화 및 합금 성분 분석 |
| 초록 | Fe-Ni 합금은 조성에 따라 다양한 물리적 특성들을 구현 가능하여 많은 관련 연구들이 진행되고 있다. 자기 기억장치, 광 기록장치, 마이크로 센서, MEMS, LIGA 등의 응용 분야에서 사용하고 있고 최근에는 OLED 증착 공정을 위한 FMM(Fine metal mask) 소재로 적용하기 위한 연구가 활발하게 진행되고 있다. 압연공정으로 제작된 인바 합금 상용 기판의 경우 광폭 박막화하여 제작하기 위한 한계가 있다. 이러한 압연공정의 단점을 극복하기 위해 전착법으로 제작된 Fe-Ni계 합금의 적용이 필요하다. 이러한 금속 시트 제품으로 활용하기 위해서는 전착 공정 시 내부 스트레스를 최소화하기 위해 잔류응력을 제어하는 것이 중요하다. 본 연구에서는 금속 기판으로 활용하기 위해 전착법을 사용하여 Fe-Ni 합금을 제작하였다. 일반적으로 Fe3+에 대한 차폐제로 사용되는 유기산의 첨가에 따른 잔류응력 변화를 관찰하였다. 첨가되는 유기산에 따라 기판의 잔류응력에 대한 변화를 관찰할 수 있었다. 또한 제작된 합금 기판재의 균일 전착성 확보를 위해 ICP, EDXRF, EDS를 활용하여 합금 조성을 비교하였다. |
| 저자 | 이민수1, 박기민2, 김호형1, 박재영1 |
| 소속 | 1한국생산기술(연), 2인하대 |
| 키워드 | Iron-nickel alloy; Electroforming; Residual stress; Organic Acid |
