| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (10/21 ~ 10/22, 인하대학교) |
| 권호 | 11권 2호, p.2382 |
| 발표분야 | 열역학 |
| 제목 | Measurements and Correlation of High-Pressure VLE of Binary CO2-Isopropanol System |
| 초록 | SCORR 공정은 기존에 물을 이용한 반도체 세정 공정에 비해 폐수 발생이 없다는 이점을 가지고 있는 공정으로 현재 이 분야에 많은 연구가 진행중에 있다. SCORR 공정에서2-Propanol은 Photo Regist를 용해시킬때 공용매로써 역할을 하는 것 중 하나이다. 이번 연구에서는 공용매로써 2-Propanol 의 영향을 알아보기 위해 순환 방식의 장치를 이용하여서 CO2와 2-Propanol 기-액 평형 실험을 수행하였다. 온도(313.15K~353.15K)는 등온 조작을 하고, 압력을 서서히 증가 시키면서 실험을 하였다. 실험 데이터는 Peng-Robinson 상태방정식을 이용하여 상관 관계를 알아보았다. |
| 저자 | 정연근, 김진우, 임종성, 유기풍 |
| 소속 | 서강대 |
| 키워드 | CO2; Isopropanol; VLE; 상평형 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
