| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2006년 봄 (05/12 ~ 05/13, 전북대학교) |
| 권호 |
10권 1호 |
| 발표분야 |
무기재료 |
| 제목 |
Fabrication and characterization of microfluidic channels using SiCN preceramic polymers |
| 초록 |
최근 MEMS 모듈에 대한 연구가 활발히 진행되고 있으며, 그 결과로 미세유체의 제작 및 응용에 대한 주목할 만한 연구가 이루어지고 있다. 고온 및 화학적인 안정성이 요구되어지는 조건하에 작동 가능한 미세유체를 구현하기 위해서는 비산화물 세라믹이 적합하다고 할 수 있다. 본 연구에서는 비산화물 세라믹 중의 하나인 SiCN의 미세유체 제작 및 특성평가에 대한 연구를 수행하였다. SiCN의 전구체로 polyvinylsilazane을 이용하였고, soft lithography법으로 패턴의 형상을 얻을 수 있었으며, 가교공정 영향에 대한 연구도 함께 진행되었다. 이러한 연구성과를 바탕으로 하여 비산화물 세라믹을 이용한 미세유체 응용에 대한 폭넓은 연구가 가능하리라 사료된다. |
| 저자 |
박준홍, 이은범, Jayakumar Perumal, 이홍주, 김동표
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| 소속 |
충남대 |
| 키워드 |
microfluidic channels; Fabrication; characterization; SiCN preceramic
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| E-Mail |
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