화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트)
권호 18권 1호
발표분야 A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials)
제목 고분자전해질 시스템을 이용한 PAD법으로 제작된 유전체 박막의 특성
초록 Polymer assisted deposition (PAD) 법을 이용하여 Titanium oxide 박막과 titanium/Aluminum oxide 복합체의 박막을 만들었다. PAD 용액은 수용성의 고분자인 polyethyleneimine에 Titanium 과 Aluminum을 함유하고 있는 전구 체를 혼합 및 합성하여 제조 하였으며, 점도 및 금속 전구 체의 함량을 조절하기 위하여membrane filter를 이용하여 정재 하였다. 제조된 PAD 용액은 n++ highly doped silicon wafer에 스핀코팅 법을 이용하여 코팅한 후 산소분위기에서 열처리 함으로서 그 두께가 약 200 nm 이고 표면조도가 약 2 nm 이하인 박막을 제조 할 수 있었다. 제조된 박막은 thin film transistor의 gate dielectrics에 적용하여 박막의 특성을 조사하였으며 이때 semiconductor로는 6,13-bis(triisopropylsilylethynyl)pentacene (TIPS-pentacene) 을 이용하여 inkjet-printing process를 이용하여 형성하였다. TFT 및 박막의 전기적 특성은 HP-4145B 를 이용하여 조사하였다.
저자 임종우1, 김지훈2
소속 1한국세라믹기술원 Nano-IT융합센터, 2고려대
키워드 polymer assisted deposition; dielectric thin film; thin film transistor
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