학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
권호 | 15권 1호 |
발표분야 | 반도체재료 |
제목 | The preparation of ATO thin films by the bar coating Bar 코팅법에의한 ATO 박막의 제조 |
초록 | 투명전극재료로 사용되는 sb첨가 SnO2 ( Antimony doped Tin Oxide ) 박막을 wet processing 공정의 하나인 bar 코팅방법으로 코팅을 하였다. ATO 합성은 SOLVENT로 메탄올로 사용을하였으며, 도전성고분자수지와 혼합하여 도포액을 만든다음, PET 필름기판위에 습식코팅법으로 코팅시킴으로서, 도전성필름을제조하였다. 열처리온도와 시간, 산소의 흡착량, 그리고 Sb2O5상의 따라 투과율 및 전도도, 표면거칠기가 차이가나타났다. 실험결과, 최적의 결과는 투과율 90%, 헤이즈 1.9% 표면저항 550Ω ㎝ 으로 터치패널용 기판의 사용가능성을 확인할수 있었다. |
저자 | 김성진 |
소속 | 연세대 |
키워드 | Bar coating; ATO Thin film; |