화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2011년 가을 (10/27 ~ 10/29, 신라대학교)
권호 17권 2호
발표분야 B. Nanomaterials and Processing Technology(나노소재기술)
제목 Al-Mg 합금 박막의 미세구조 형성 거동
초록 Al-Mg 합금은 낮은 밀도와 질량 대비 높은 강도를 지니며, 좋은 내식성을 지녀 강판의 코팅재료로 각광받고 있다. 현재 Al-Mg 합금 박막의 실용화를 위해 국내외에서 많은 연구가 진행되고 있다. 특히 Al-Mg 합금 박막의 내식성에 가장 큰 영향을 미치는 것으로는 박막의 치밀도, 조성 및 박막의 미세구조 등이 있다. 본 연구에서는 DC magnetron sputtering 장치를 이용하여 냉연 강판에 Al-Mg 합금 박막을 증착하였다. 증착시 인가한 전원 밀도와 공정 압력 및 성장온도에 따른 Al-Mg 합금 박막의 미세구조를 체계적으로 조사하였고, 또한 증착율, 결정상 형성 거동, 조성 등을 분석하여 미세구조와의 상관관계를 도출하였다. 특히 주요 증착변수에 대한 미세구조 변화거동을 체계적으로 관찰하였다.
저자 선건주, 김상섭
소속 인하대
키워드 Al-Mg 합금; sputtering; 박막
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