학회 한국화학공학회 학술대회 1996년 봄 권호 2권 1호, p.1005 발표분야 재료 제목 Silicon Wafer 의 Hydrogen Plasma Dry Cleaning 시 수소 원자 재결합 반응 초록 저자 이진혁, 김영채 소속 키워드 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기
