| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2016년 봄 (04/27 ~ 04/29, 부산 BEXCO) |
| 권호 | 22권 1호, p.883 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Enhanced moisture barrier property and flexibility of a hybrid structure composed of Al2O3/ZnO and plasma polymer |
| 초록 | 최근 차세대 플렉시블 디스플레이로 Organic light-emitting diodes(OLED)가 주목 받고 있다. 하지만 OLED의 경우 외부의 수분과 산소로부터 cathode가 산화되거나 Alq3의 경우 결정화 현상이 발생되면서 소자의 수명에 치명적인 손실을 유발하게 된다. 이에 따라 OLED를 보호하기 위한 Encapsultion 공정이 필요하게 되었고 플렉시블 디스플레이를 구현하기 위하여 Thin Film Encapsultion(TFE) 박막봉지공정의 중요성이 커지고 있다. 본 연구에서는 이러한 박막봉지의 수분방지특성을 향상시키기 위해 Al2O3 /ZnO 무기층구조를 적용시키는 연구를 수행하게 되었다. ALD를 이용하여 polyethylene naphthalate(PEN) 위에 성막하였다. Al2O3, ZnO 전구체로는 각각 trimethyl aluminum(TMA), diethylzinc(DEZ)를 이용하였고 이렇게 만들어진 Al2O3 / ZnO 복합 무기층 구조는 각각 Al2O3, ZnO 단일막에 비해 향상된 수분방지막 특성을 보였다. 유기층의 경우 HMDSO monemer를 사용, Plasma를 이용한 폴리머중합을 통해 성막하였고 이 유기층과 무기층을 층별로 성막 할 경우 유기층이 무기층에서 발생되는 수분투과경로를 길게 해줄 뿐만 아니라 봉지막의 flexibility를 부여하여 유연하고 수분방지 특성이 향상된 봉지막을 만들 수 있다. |
| 저자 | 채영기, 이학수, 한진택, 조성민 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | 센서 및 소자; Nanofabrication |
| 원문파일 | 초록 보기 |
