| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1997년 가을 (10/24 ~ 10/25, 충남대학교) |
| 권호 | 3권 2호, p.3117 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | MOCVD 공정에 있어서 구리(Ⅰ) 전구체들의 열적 안정성과 반응 메카니즘에 관한 연구 |
| 초록 | 구리(Ⅰ)화합물 가운데 음이온 리간드로 상대적으로 증기압이 높은 hfac(hexafluoro- acetylacetonate)이 포함된 (hfac)Cu(VTMS) (VTMS ; vinyltrimethylsilane), (hfac)Cu(VTMOS) (VTMOS ; vinyltrimethoxylsilane), (hfac)Cu(ATMS) (ATMS ; allyltrimethylsilane)를 전구체로 사용하여 구리 박막을 증착하고, 증착된 박막의 여러 특성들을 확인하였다. 그리고 in-situ FT-IR을 이용해 전구체의 기상에서의 분해 특성을 확인하고 FT-NMR을 이용해 열적 안정성을 비교하였으며 이러한 특성이 증착 속도에 미치는 영향을 규명 하였다. |
| 저자 | 박만영, 이시우 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | MOCVD; NMR; IR |
| 원문파일 | 초록 보기 |
