| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 나노 및 생체 재료 |
| 제목 | 나노입자 크기선별, 증착, 패터닝 기술 |
| 초록 | 반도체 산업이 완벽한 박막제어를 기본으로 하여 디바이스를 제조하듯 본 연구는 나노입자의 완벽한 제어를 통하여 나노입자 디바이스를 제작하는데 있다. 이를 위하여 DMA (Differential mobility analyzer)를 이용하여 기상에서 원하는 크기의 나노입자만을 선별하여 실리콘 기판 위에 증착 및 패터닝하는 프로세스를 수행하였다. 본 발표에서는 상기 프로세스를 포함하여 입자 한 개 한 개 제어 가능성에 대하여 토론하고자 한다. |
| 저자 | 허승헌, 류도형, 조광연, 신동근, 송철규, 공은배, 진은주, 홍현정 |
| 소속 | 요업(세라믹)기술원 나노소재팀 |
| 키워드 | 나노입자; 패터닝 |
