| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2007년 가을 (11/02 ~ 11/02, 성균관대학교) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 반도체재료 |
| 제목 | AZO/Al/ZnO 다층 박막의 전기적, 광학적 특성 |
| 초록 | RF 마그네트론 스퍼터링법을 사용하여 상온에서 유리판 위에 양질의 AZO(200nm)/Al(0-20nm)/ZnO(50nm) 다층 투명전도박막을 코팅하였다. 극히 얇은 알루미늄층의 두께에 따라 다층박막의 전기적, 광학적 특성이 어떻게 변하는지를 조사한 결과 얇은 알루미늄층을 삽입함으로써 광 투과도는 거의 손상시키지 않고 박막의 비저항을 상당히 낮출 수 있음을 발견하였다. 알루미늄 박막의 최적 두께는 15nm이고, 이 때 다층박막의 비저항은 8.1×10-4Ωcm, 광투과도는 약 83%가 얻어졌다. |
| 저자 | 이종무, 이왕우, 홍찬석 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | 다층박막 투명전도막; 스퍼터링; 투과도; 비저항 |
