| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (04/23 ~ 04/24, 공주대학교) |
| 권호 | 10권 1호, p.920 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 단성분계 산화박막인 TiO2/ZrO2/PbO의 적층구조로 제조된 PZT박막의 특성분석 |
| 초록 | 이번 연구에서는 분극 전류형 비휘발성 기억소자에 응용하기 위한 강유전체 재료중하나인 lead zirconium titanate(PZT)의 성분이 되는 TiO2,ZrO2,PbO과 같은 단성분계 재료를 RTMOCVD을 이용하여 적층형 다층박막인 PZT를 형성하고, 열처리에 따른 박막간의 상호확산 성질분석과 박막 두께에 따른 확산 거동을 분석한다. 각 단성분계 박막의 두께를 제어함으로써 PZT의 조성의 변화를 가졀 올 수 있으며 여기서 화학 양론비를 이끌어 내어 조성 조절 공정을 최적화 한다. 여기서의 주안점은 각 단성분계 막의 두께와 반복적으로 적층된 횟수에 의한 열처리 후의 단일상 박막의 결정성및 물성에 미치는 영향를 연구한다. 형성된 박막은 TEM,SEM,XRD,XPS등의 분석기기를 이용하여 특성을 분석하며, 본 실험에서는 조성과 열처리에 대한 자료를 제시 할 것이다. |
| 저자 | 강병선, 이원규 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | PZT박막 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
