| 초록 |
플렉시블 광전소자 기술의 진보는 더욱 우수한 플렉시블 디스플레이, 플렉시블 TFT, 플렉시블 태양전지 구현을 가능케 하고 있으며 이 때문에 플렉시블 광전소자를 구성하는 핵심 소재인 투명전극에 대한 관심이 날로 높아지고 있다. 특히 Facing target sputtering (FTS)와 Roll-to-Roll (R2R) 스퍼터링 공법은 유기물 광전소자용 투명 전극 성막 공법으로 현재 플렉시블 OLED와 유기태양전지의 전극 성막 공법으로 가능성이 높아지고 있다. 본 논문에서는 플렉시블 OLED나 유기태양전지 제작에 응용이 가능한 FTS와 R2R 스퍼터 공법의 원리를 소개하고 이를 통해 제작된 투명 전극의 특성을 소개하고자 한다. 특히FTS를 이용하여 상온에서 성장시킨 ITO, IZO, IZTO의 전기적, 광학적, 구조적 특성을 일반적인 DC/RF 스퍼터로 고온에서 성장시킨 ITO와 비교 설명하고 이를 이용하여 제작한 OLED의 특성을 비교 분석한다. 또한 R2R 공정으로 성장시킨 ITO 전극과 ITO-Ag-ITO 다층 구조의 전극의 특성을 비교하여 표면 플라즈마 공명 현상을 이용한ITO-Ag-ITO 다층 투명 전극의 플렉시블 OLED와 플렉시블 태양전지로의 응용 가능성을 보이고자 한다. |
