| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
| 권호 | 4권 2호, p.3861 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Fourier transform infrared spectroscopy를 이용한 tetrakis(dimethylamino)zirconium의 열분해에 관한 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 tetrakis(dimethylamino)zirconium [TDMAZ]의 기상 열분해 반응을 fourier transform infrared spectroscopy [FT-IR]를 이용하여 조사하였다. 온도와 운반기체종류의 영향성을 평가하였으며, kinetic 실험 결과를 이용하여 활성화 에너지를 구하였다.TDMAZ은 200 C 이하에서는 안정하였으나 300 C 이상의 온도에서는 매우 빠르게 분해가진행되었고, 이때 지르코늄에서 분해되어 나오는 부산물은 dimethylamine으로 확인되었다.운반기체의 영향성은 수소, 질소, 아르곤을 비교, 평가 하였는데 아르곤이나 질소를 사용할경우와 달리 수소를 운반기체로 사용했을 경우에는 고온에서도 TDMAZ의 기상 분해를 크게 억제할수 있었다. 그리고 실험 데이터에서 구해진 TDMAZ의 기상분해 활성화 에너지는4.844 kcal/mol이었다. |
| 저자 | 김일우, 김도형, 김성재, 박만영, 이시우 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | CVD; metallorganic; zirconium nitride; FT-IR |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
