| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 세라믹스 |
| 제목 | Sol-gel법을 이용한 High Quality Vanadium Dioxide Films 제조 |
| 초록 | CTR (Critical Temperature Resistor:임계온도 저항체)효과를 나타내는 대표적인 반도성 특성을 갖는 재료로는 Vanadium 산화물이 있다. VO2, V2O3, VO2 ,V3O7, V2O5, VnO2n-1(3n≤n≤8) 등이 있는데, 그 중에서도 VO2 는 온도가 증가함에 따라 상전이 점인 68℃에서 반도성-금속성으로 변하는 전이특성을 가지고 있다. 산화바나듐 막은 CVD, reactive vacuum evaporation, Rf-sputtering, dip coating, spin coating 등 다양한 방법으로 제조되어질 수 있다. 본 연구는 Distilled water에 800℃에서 Melted된 오산화바나듐(V2O5)을 넣어 quenching 시켜 sol을 제조하였다. 제조된 sol은 spin coater를 이용하여 Al2O3 기판에 코팅한 후 환원성 분위기(H2/N2)에서 열처리하여, 산화바나듐 박막을 제조하였다. 또한, 환원온도 및 gas양에 따른 상전이 특성과 온도변화에 따른 저항값의 급변현상을 관찰하였다. 막 표면의 미세구조와 결정구조는 각각 FE-SEM, XRD를 이용하였다. 온도에 따른 Resistivity는 Data Acquisition(Agilent 34970A), Tc chamber(Delta 9023)와 Test Point(Capital Equipment corp.) program을 이용하여 측정하였다. 그 결과 상전이 온도(68℃)부근에서 전기저항 감소폭이 102~103 order 로 변화하는 것을 관찰할 수 있었다. |
| 저자 | 최종범 |
| 소속 | 요업(세라믹)기술원 / 한양대 |
| 키워드 | 산화바나듐; CTR 특성 |
