| 초록 |
고상소결법에 의해서 Er2O3가 각각 5, 10, 15, 20 wt%로 각각 도핑된 70TeO2-30WO3 타겟을 RF(radio frequency) 마그네트론 스퍼터의 각종 공정조건 - 기판온도, Ar/O2 flow ratio, 공정압력, RF power - 을 변화시키면서 Er3+ 도핑된 Tungsten – Tellurite 유리 박막을 제조하였다. 유리박막의 표면거칠기, 결정성, 미세구조 등을, 원자력현미경, X-선 회절기, 주사전자현미경을 이용하여 조사하였고, 박막의 성분분석을 에너지 분산 X-선 분석기와 EPMA(Electron Micro Probe Analysis)를 이용하여 분석하였다. 박막의 광학적 특성평가를 위하여 UV 분광기를 이용하여 투과도를 측정한 후Swanpoel's 방법으로 굴절률을 계산하였으며 prism coupler를 이용하여 굴절률의 차이를 확인해보았다. 또한PL을 이용하여 발광특성을 조사하였다. 비정질 유리 박막의 표면 거칠기는 상온에서 약 1nm의 균질한 박막을 얻을 수 있었고, 상온에서 증착된 모든 박막은 비정질로 확인되었다. Er3+ 도핑된 tungsten-tellurite 유리 박막의 자세한 광학적 특성평가는 앞으로 논할 것이다 |
