| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 전자 재료 |
| 제목 | characteristic of (Na0.5Bi0.5)TiO3 thin film by sol-gel process |
| 초록 | 본 연구에서는 환경적인 문제로 사용이 제한되어질 Pb-based piezoelectric material 대신 대두대고 있는 비납계 압전물질(Lead-free Piezoelectric)인 (Na0.5Bi0.5)TiO3 를 Sol-gel 공정을 이용하여 Pt/Ti/SiO2/Si 기판에 thin film을 제조하였다. 제조된 NBT film는 열처리 온도 및 분위기에 따른 미세구조 및 Crystal structure를 XRD, AFM을 통하여 알아보았다. Perovskite 구조를 가지는 NBT의 Ferroelectric으로서의 전기적 특성을 알아보기 위하여 유전특성 및 유전손실과 Remanant Polarization을 측정하였다. |
| 저자 | Yong Hee Kang, Jin Suk Jung, Dong Heon Kang |
| 소속 | Dept. of Electronic Material Engineering & TICEM The Univ. of Suwon |
| 키워드 | lead-free; NBT film; Sol-gel |
