| 초록 |
본 연구에서는 LiPON 박막 증착 공정을 개발하기 위해 MOCVD 법을 이용하였다. 두 가지 전구체로 lithium dipivaloylmethane ( Li(DPM), Li(C11H19O2)) 과 triethyl phosphate (TEP, (C2H5)3PO4)를 사용하였고 질화 가스로 NH3 를 이용하였다. 이 연구를 통하여 450 ℃ 에서 온도가 올라감에 따라 증착률이 증가함을 알아낼 수 있었고 증착된 LiPON 박막은 amorphous phase 였다. P 와 N 은 450 ℃ 의 표면온도에서 상대적으로 부족하지만 550 ℃ 로 증가시킬 경우 함께 증가함을 알 수 있었고 표면온도가 올라갈수록 adduct가 감소함을 알 수 있었다. 증착된 LiPON 박막에서 산소의 양은 질소와 반비례하였고 Li과 P의 양은 표면온도와 비례하였다. 이것은 LixPOy 박막에서 산소와 질소가 치환됨을 뜻하고 온도가 높아질수록 치환이 잘된다는 것을 나타낸다. 그리고 TEP가 분해되는 정도에 따라 Li의 양이 결정됨을 뜻한다. 결과적으로 MOCVD를 이용한 LiPON 박막 증착에서 Li(DPM)과 TEP는 550 ℃ 이상의 온도가 요구되고 TEP의 분해가 LiPON과 adduct의 형성에 많은 영향을 끼친다고 할 수 있다 |
