화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2015년 봄 (04/08 ~ 04/10, 대전컨벤션센터)
권호 40권 1호
발표분야 기능성 고분자
제목 Nano-size Pattern Formation Using Imprinting Techniques
초록 자외선 나노임프린트 기술은 미세구조의 패턴 몰드에 폴리머 수지를 채워 광중합을 시키는 방법으로 기존의 열 경화 방식에 비해 훨씬 빠르며, 나노구조의 부품을 고속으로 대량생산 할 수 있는 장점이 있다. 본 연구에서는 광경화성 레진에 은 나노입자를 첨가하여 임프린트용 복합체를 제조하였고, 이를 이용하여 기판위에 나노미터 크기의 임프린트 패턴을 형성하였다. 또한 은 나노입자 양에 따른 경화특성과 전사된 임프린트 패턴의 형태를 조사하였다. 전사된 패턴의 형태와 발생된 결함은 AFM과 SEM을 이용하여 확인하였다.
저자 한승호, 배진우, 송기국
소속 경희대
키워드 UV nanoimprint; UV cure; atomic force miroscopy(AFM); scanning electon microscopy(SEM)
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