학회 한국화학공학회 학술대회 1996년 봄 권호 2권 1호, p.933 발표분야 재료 제목 ECR 플라즈마를 이용한 화학증착법및 건식산화법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성 초록 저자 전법주, 허정수, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현 소속 키워드 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기
