학회 한국화학공학회 학술대회 1996년 봄 권호 2권 1호, p.1001 발표분야 재료 제목 ECR 산소 플라즈마를 사용한 실리콘 산화막의 제조 초록 저자 허정수, 전법주, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현 소속 키워드 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기
