| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 | 16권 2호 |
| 발표분야 | C. Energy and the Environment Technology(에너지 및 환경재료) |
| 제목 | Co-evaporator로 증착한 Sb-Te 박막의 열전특성 |
| 초록 | 고유가 시대에 접어들면서 청정에너지를 구현할 수 있는 열전소자 분야의 연구가 활발히 진행되고 있다. 더욱이 나노기술과 접목하여 MEMS 기반의 열전소자 개발이 큰 주목을 받고 있다. 일반적으로 현재까지는 벌크형 열전소자가 많이 상품화되어 있다. 하지만, 박막형 열전소자는 벌크형 열전소자와 비교하였을 때 소형화 및 빠른 응답속도 등의 장점이 있다. 본 연구에서는 co-evaporator를 이용하여 Sb-Te 열전박막을 제작하였다. Co-evaporator는 sputtering에 비하여 증착속도를 제어하기가 쉬운 장점이 있다. 본 연구에 사용된 co-evaporator는 4개의 crucible이 장착되어 있다. Crucible과 기판의 거리는 40cm이고 기판 홀더는 heating과 rotating이 된다. 300nm의 산화막이 형성된 Si(100)을 기판으로 사용하였다. 순도 99.999%의 Sb와 Te를 사용하여 상온, 100℃, 200℃, 300℃로 기판 온도를 변화하며 증착하였다. 증착된 P형 열전박막을 각기 다른 온도와 시간에 따라 열처리하였다. FE-SEM을 이용하여 표면형상을 관찰하였고 X-ray diffraction으로 결정구조를 확인하였다. Co-evaporator로 증착된 약 1 ㎛ 두께의 Bi-Te 열전박막의 전기저항과 seebeck coefficient를 확인하였다. |
| 저자 | 이광은, 이희정, 박현성, 김정엽, 한승우 |
| 소속 | 한국기계(연) |
| 키워드 | 열전재료; 열전소자; evaporator; SbTe |
