| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교) |
| 권호 | 9권 1호, p.1022 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Modified HVPE 반응기의 전산유체역학적 해석 |
| 초록 | 본 연구에서는 III족 전구체로서 유기 금속 화합물인 TMGa를 사용하여 기존의 HVPE반응기를 개선한 실험용 Modified HVPE 반응기를 설계 제작하였다. 실험기를 좀더 개선하기 위하여 전산유체역학용 프로그램인 CFD-ACE+를 이용하여 기존의 실험기의 열 유체역학적인 특징을 분석하였다.본 연구에서 수행한 전산모사는 실험과 경험적으로 수행되는 반응기 내부의 열 유체 역학적 거동을 거시적 시뮬레이션을 통하여 보고 파악 할 수 있었으며, 또한 실험에 앞서 시뮬레이션을 행하여 새로운 반응기의 제작비용을 절감 할 수 있었으며, 실험상으로 알아 볼 수 없던 susceptor가 추가된 후의 열유동 변화와 susceptor주위 boundary layer 등의 부분들에 대한 예측으로 설계, 제작, 실험 전 정확도 및 효율을 향상할 수 있었다. |
| 저자 | 한승훈, 여석기, 윤덕선, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | GaN; HVPE; CFD; 유체역학 |
