화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2008년 봄 (04/10 ~ 04/11, 컨벤션 뷰로(대전))
권호 33권 1호
발표분야 나노카본/고분자 복합소재의 제조 및 응용기술
제목 Field-Effect Transistor (FET) using Thin Multi-Walled Carbon Nanotubes (t-MWCNTs) and Polymer Composite Film
초록 Thin Multi-Walled Carbon Nanotubes (t-MWCNTs)와 절연체 고분자의 복합체를 활성층으로 사용하여 전계 효과 트랜지스터 (FET)를 제작하였다. 전계 효과 트랜지스터 제작을 위하여 게이트 전극으로는 도핑한 poly-Si을, 드레인 및 소스 전극은 Au를 사용하였고, 절연층은 SiO2를 사용하였다. t-MWCNTs 복합체를 위의 제작된 패턴 위에 스핀 코팅하여 박막 형태로 제작하였다. t-MWCNTs복합체의 다양한 질량비에 따른 트랜지스터 특성을 비교하였다. 인가된 게이트 전압에 따라 소스 및 드레인 전류를 측정하여 on/off 비율과 전하 이동도를 측정하였다. 또한, 전하 이동도의 온도 의존성을 측정하여 활성화 에너지와 전하 이동 특성을 분석하였다.
저자 배상원, 김기현, 한윤덕, 김성환, 주진수
소속 고려대
키워드 Multi-Walled Carbon Nanotube and Polymer Composite; Field-Effect Transistor
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