| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (05/13 ~ 05/14, 충남대학교) |
| 권호 | 9권 1호 |
| 발표분야 | 무기재료 |
| 제목 | Titanium Ethoxide에 의한 스테인레스에 증착된 티타늄 산화막 특성 |
| 초록 | 일반 금속이나 합금들은 높은 강도를 요구하지만 응용 분야에 따라 부식 저항성이 강한 특성을 요구하기도 한다. 예를 들면 해수를 사용하고 있는 발전소의 경우 바닷물에 있는 염화나트륨 등과 같은 염소화합물에 의하여 금속 물질의 부식을 유발시키기도 하지만 관석이 끼는 중요한 역할을 하기도 한다. 이러한 부식 방지를 위하여 다양한 표면처리를 하는 연구가 진행 중이다. 플라즈마에 의한 표면 처리는 현재 많이 진행되고 있는 공정 중 하나이다. 본 연구에서는 RF 플라즈마를 이용하여 스테인레스 표면에 증착된 티타늄 산화막의 특성을 알아보고자 하였다. 일반적인 티타늄 산화막의 증착은 전구체를 개질하여 사용하지만 본 연구에서는 티타늄 전구체를 직접 주입하여 증착하였으며, 이에 대한 특성을 알아보고자 하였다. |
| 저자 | 김경수, 모만진, 정일현 |
| 소속 | 단국대 |
| 키워드 | 스테인레스; 플라즈마; 티타늄 산화막; 표면분석 |
