화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2014년 가을 (11/12 ~ 11/14, 엑스코(대구))
권호 18권 2호
발표분야 환경에너지-포스터
제목 반도체(TCP Film) 공정에서 발생되는 박리폐액의 처리
초록 모바일 환경의 확산, 스마트 단말기의 수요 증가 등으로 인해 반도체 시장은 계속해서 성장하고 있다. 시장이 성장하는 만큼 반도체 생산 공정에서 나오는 폐액 처리비용도 증가 한다는 것을 의미한다. 대부분의 반도체 업체는 전문업체에 고액을 지불하고 박리폐액을 위탁처리하고 있으나, 본 연구는 박리폐액을 가장 환경적으로 안전하게 처리할 뿐만 아니라 반도체 업체에서의 자가처리를 통한 원가 절감, 탈수 · 건조를 이용한 무방류 처리를 목적으로 연구, 조사하였다.
저자 권진홍, 이유석, 전태영, 김재용
소속 충북대
키워드 반도체; TCP Film; 박리폐액
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