화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2009년 봄 (04/23 ~ 04/24, 광주 김대중컨벤션센터)
권호 15권 1호, p.101
발표분야 공업화학
제목 FDP(Flat panel display)액정 세척용 수계세정제 개발
초록 FPD(Flat panel display)시장은 매우 크고 해마다 생산량이 증가하는 추세이며, 우리나라의 삼성전자와 LG Philips LCD는 세계 panel 시장의 40%이상을 점유해 각각 1위와 2위를 차지하고 있어 국가 경쟁력의 초석이 되고 있다. 이러한 FPD의 제조공정은 고도의 청정성이 요구되는 공정으로 제조공정 중 세정공정이 약 30~40%를 차지할 정도로 기술적 생산성 측면에서 매우 중요하다. 그럼에도 불구하고 공정에 사용되는 세정제는 수입에 의존하고 있어, 국산화 개발이 절실한 실정이다.
본 연구에서는 타 분야에서 규제대상물질의 대체 세정제로 많이 사용되고 있는 glycol ether 계 용제와 첨가제, 계면활성제를 배합하여 친환경적이고 고성능의 액정세정력 및 린스력을 갖는 수계세정제를 개발하고자 하였다. 먼저 적절한 조성비를 결정하기 위하여 단일 용매의 물성을 측정하고, 배합한 세정제의 액정용해성과 상안정성평가 및 백탁도를 육안으로 평가하였다. 액정세정력평가는 시판되어 있는 수입세정제와 대표적인 용매를 선정하여 편광현미경을 통한 이미지분석을 하여 평가하였다.린스력평가는 일반 Glass panel 시편을 이용하여 세정제에 액정세정시간과 동일하게 처리한 후에 접촉각 변화를 측정하여 평가하였다.
저자 정재용1, 배재흠1, 이민재1, 이근배2
소속 1수원대, 2(주)하나나노텍
키워드 FPD; Cleaner; Aqueous; Cleaning; Rinsing
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원문파일 초록 보기