| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2014년 가을 (11/27 ~ 11/28, 대전컨벤션센터) |
| 권호 |
20권 2호 |
| 발표분야 |
A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 |
초음파 공명 분광법(RUS) 및 공진-반공진법을 이용한 PZT계 압전 세라믹의 기계적 특성 추출 및 비교 |
| 초록 |
압전 세라믹은 진동 모드에 따라서 경방향 진동(radial vibration), 길이방향 진동(length vibration), 종방향 진동(longitudinal vibration), 두께 방향 진동(thickness vibration), 전단 방향 진동(shear vibration)으로 나눌 수 있다. 각 진동 모드에 해당하는 JEITA (Japan Electronics and Information Technology Industries Association) EM-4501 규격에 의해 샘플을 제조하고 분극(poling)한 후 임피던스 분석기를 통하여 공진-반공진 주파수를 측정하게 되면 압전 세라믹의 compliance 및 stiffness와 같은 기계적 특성을 추출할 수 있다. 한편, 초음파 공명 분광법 (RUS: Resonant Ultrasound Spectroscopy)은 초음파를 이용하여 재료의 탄성특성을 측정하는 방법으로 재료의 미세한 변화를 비파괴적 방법으로 측정하는 유용한 기술이다. 본 연구에서는 PZT계 압전 소재를 소결 및 가공하여 RUS 및 공진-반공진법으로 기계적 특성을 추출하였다. 압전 소재의 분극 전후의 RUS 측정 결과와 공진-반공진법에 의해 추출된 결과를 비교 분석하였다. |
| 저자 |
박근준1, 조유리1, 강형원1, 이형규1, 윤운하2, 류정호2, 한승호1
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| 소속 |
1전자부품(연), 2재료(연) |
| 키워드 |
초음파 공명 분광법; 공진-반공진법; PZT; 기계적 특성
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