화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2002년 봄 (04/26 ~ 04/27, 강원대학교)
권호 8권 1호, p.2149
발표분야 재료
제목 탄화규소 분말상의 무전해 Ni-P 도금시 마이크로파 에칭의 영향
초록 본 연구에서는 강도가 높고 물리화학적으로 안정하며, 넓은띠 간격, 높은 열전도도, 높
은 전자포화표류속도, 그리고 높은 파괴전압을 나타내기 때문에 고온, 고속, 고주파, 고출력
전자기술에 이용되는 탄화규소(SiC)를 대상으로 Microwave heating 방법을 이용하여 SiC
표면을 에칭을 수행하였고, 이에 따른 표면 특성변화와 무전해 Ni-P 도금의 물리적 및 화학
적 특성에 대해 연구하였다.
저자 강민1, 이승환2, 김지만, 이재의
소속 1아주대, 2화학공학과
키워드 Microwave-enhanced etching; SiC particle; electroless metal plating; surface modification
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