| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 전자부품 |
| 제목 | 후막리소그라피법으로 제조된 마이크로스트립 공진기의 고주파 특성 |
| 초록 | 최근 스크린 인쇄법을 이용한 후막 패턴 제작 방법이 가지고 있는 최소 구현 가능 선폭 및 치수 정밀도의 한계 등 여러가지 단점을 극복하기 위한 방법으로 후막 인쇄법과 리소그라피를 접목한 패턴 제작 방법인 후막 리소그라피 방법이 개발, 응용되고 있다. 후막 리소그라피 방법은 크게 두가지로서 하나는 감광성 유기물을 첨가된 페이스트를 스크린 인쇄한 뒤 노광, 현상 과정 후 소결하여 제작하는 방법이며, 또 하나는 페이스트를 인쇄, 소결 후 Photoresist 를 사용하여 패터닝 후 에칭 공정을 통해 제작하는 방법이다. 본 연구에서는 후막 리소그라피 방법 중 하나인 에칭 방법에 의해 고주파 전송선로 중 하나인 마이크로 스트립 라인을 이용한 Series 공진기 및 Ring 공진기를 제작하고 기존의 스크린 인쇄법에 의해 제작된 공진기와 특성을 비교 평가하여 제조방법에 따라 공진기의 고주파 특성에 어떤 차이가 발생하는지 확인하고자 하였다. |
| 저자 | 조현민1, 김경철1, 이영신1, 박종철1, 김형준2 |
| 소속 | 1전자부품(연), 2서울대 |
| 키워드 | thick film; lithography; microstrip; resonator |
