| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (05/19 ~ 05/20, 경상대학교 ) |
| 권호 | 12권 1호 |
| 발표분야 | 에너지환경재료 |
| 제목 | Bi-Sb-Te 열전박막의 제조와 특성평가 |
| 초록 | 마이크로 프로세서를 비롯한 고직접회로의 처리속도가 비약적으로 향상되고 선폭과 같은 특성치(feature scale)가 감소함에 따라 첨단전자부품의 발열량이 매우 빠른 속도로 증가하고 있다. 소자의 안정적인 작동을 위해서는 이를 효율적으로 제거하는 기술이 제품개발에 있어서 중요한 부분을 차지하게 되었다. 광통신장비에 있어서도 레이저광원, 스위칭 및 라우팅 소자, 탐지기 등 핵심부품의 안정적인 작동을 위해 냉각기능의 역할이 매우 중요하게 되었다. 이러한 미세부품의 정밀하고 안정된 온도제어를 위해서 박막형 열전 냉각소자(thermoelectric cooling devices)에 대한 관심이 부각되고 있다. 본 연구에서는 두 개의 개별 스퍼터링 타겟(Bi or Bi-Sb, Te)을 이용한 co-sputtering 공정을 이용하여 BiSbTe계 열전박막을 제조하고, 전기적 특성과 Seebeck계수를 측정함으로써 그 열전특성을 조사하였다. 박막조성에 따른 특성변화를 파악하기 위해 타겟에 인가되는 파워를 조정하여 여러 가지 조성을 지닌 박막시편(약 1마이크로미터 두께)을 제조하였으며, 급속 열처리 공정(RTP)을 통한 그 열전특성의 향상에 대해 조사하였다. |
| 저자 | 김동호, 이건환, 김욱중 |
| 소속 | 한국기계(연) |
| 키워드 | 열전박막; 스퍼터링; 전기특성; 열전특성 |
