화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교)
권호 8권 2호, p.4153
발표분야 에너지/환경
제목 알루미나 담지촉매를 이용한 CF4 분해 연구
초록 본 연구에서는 지구온난화 지수가 높은 반도체 공정에서 배출되는 과불화물을 촉매적 방법에 의하여 효과적으로 처리할 수 있는 알루미나 담지 촉매의 상업적 적용가능성을 조 사하였으며, P 성분을 담지한 알루미나 촉매가 산소분위기 하에서도 과불화물의 가수분해에 매우 높은 활성을 나타냄을 확인하였다.
저자 박용기, 김희영, 전종열, 徐秀峰, 최미화
소속 한국화학(연)
키워드 PFC decomposition; supported alumina catalyst
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