초록 |
CZTSSe 박막 태양전지는 매장량이 풍부하고 값이 저렴한 주 재료(Cu, Zn, Sn)를 사용하면서, 유해성도 낮기 때문에 저가·친환경 태양전지로 주목을 받고 있다. 한편, 유연기판 중 하나인 Stainless steel(SUS) 기판에 CZTSSe 박막 태양전지를 적용한다면, SUS의 가볍고 저렴한 단가, roll-to-roll 공정 적용 등 태양전지 시장에서 높은 경쟁력을 가질 수 있다. 하지만 SUS 유연기판은 열처리 과정에서 불순물(Fe, Cr ..)이 전구체 영역으로 확산하며 2차상을 형성하거나, 치명적인 결점을 생성하는 등 태양전지 효율을 저해하는 문제점을 가지고 있다. 이런 불순물을 막기 위해 일반적으로 SiO2, SiNx, Cr 등 확산 방지막(diffusion barrier)을 적용하는데, 본 연구에서는 확산 방지막 후보로 SiO2, SiNx, ZnO을 선택하여 스퍼터 공정 또는 PECVP 공정으로 SUS 기판 위에 증착하였으며, 고온의 가혹조건과 SIMS(Secondary ion mass spectrometry), 전기적 특성 분석 등을 통해 방지막 후보군의 성능을 확인하였다. |