| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1709 |
| 발표분야 | 이동현상 |
| 제목 | 3-D PTV 기술 및 CFD code를 이용한 반도체 세정 Bath내의 유동현상 측정 및 해석 |
| 초록 | Cleaning bath내의 유체흐름의 특성을 이해하기 위하여 상용 CFD code를 이용한 유체모사를 통한 유동현상의 예측 및 가시화를 이용한 실제흐름 측정을 수행하여 유체 simulation 및 실험으로 획득한 기초자료를 이용하여 기존 bath의 세정능력의 개선을 위한 최적의 bath설계 및 운전조건의 도출하고자하였다 |
| 저자 | 강운용, 이민수, 함승주, 박헌휘 |
| 소속 | 연세대 |
| 키워드 | Cleaning bath; 3-D PTV; Computational Fluid Dynamics |
| , | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
