| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교) |
| 권호 | 8권 2호, p.5098 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 Ge2Sb2Te5 박막의 증착 |
| 초록 | 본 실험에서는 DC power의 변화가 주요 변수로 선택되어 Ge2Sb2Te5 박막이 증착되었고 증착된 박막들의 annealing 온도 변화를 통하여 결정 구조와 reflectance 등이 분석되었다. |
| 저자 | 송영수, 변요한, 김혜인, 정지원 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | Ge2Sb2Te5; deposition; DC magnetron sputtering |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
