| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 | 5권 2호, p.4513 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 액적화학증착법을 이용한 초고집적 DRAM capacitor용 (Pb, Sr)TiO3(PST) 박막 |
| 초록 | PST thin film을 액적화학증착법을 이용하여 제조하였다.이를 후속열처리와 플라즈마 처리를 통하여 전기적 특성을 개선하였다. |
| 저자 | 정현진, 정숙진, 우성일 |
| 소속 | 한국과학기술원 화학공학과 |
| 키워드 | ferroelectric thin film; DRAM; Plasma treatment |
| 원문파일 | 초록 보기 |
