화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교)
권호 5권 1호, p.1817
발표분야 재료
제목 Display Shadow Mask(DSM)용 Invar 합금의 식각 공정에 관한 연구
초록 본 과제에서는 컬러 모니터용 CDT(Color Display Tube) shadow mask, 일명 display shadow mask(DSM)의 제조에 사용되는 Invar 합금의 spray etching 공정을 보다 근본적으로 이해하고 이를 통해 생산공정에 직접 적용할 수 있는 etching 속도식을 구하기 위한 일련의 연구를 수행하였다. 우선 실험에 의해 공정 변수들이 etch rate에 미치는 영향을 조사하였고, 공정 모델링을 통해 etching 속도식을 유도하였다. 이어 속도식으로부터 계산된 값과 실험 data를 비교, 분석하였다.
저자 윤덕선, 박진호, 이근우
소속 영남대
키워드 DSM(display shadow mask); Invar 합금; 식각; 염화제2철수용액
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