| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2007년 가을 (11/02 ~ 11/02, 성균관대학교) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 반도체재료 |
| 제목 | MOCVD로 성장한 ZnO 박막의 O2 유량 변화에 따른 광특성과 미세구조 분석 |
| 초록 | ZnO는 3.37eV의 넓은 에너지 밴드갭을 가지고 있으며, 60meV의 큰 엑시톤(exciton) 결합에너지의 특성을 가지고 있어 UV 영역의 소스로서 가장 활용도가 클 것으로 예상된다. ZnO는 청색과 자외선 발광소자 및 광전자 소자, 화학적 센서로 활용이 가능하다. 박막, 나노선, 나노막대 등과 같은 ZnO의 형태와 크기는 합성공정과 가스분위기에 크게 영향을 받고 서로 다른 광 특성 결과를 나타낸다. 본 연구는 사파이어 기판에 MOCVD법을 이용하여 ZnO 박막을 성장하였다. O2의 유량에 따른 ZnO 박막의 광특성과 미세구조를 관찰하기 위하여 O2 가스를 변화시키며 성장하였다. SEM으로 관찰한 결과 ZnO 박막은 O2 가스의 유량이 증가함에 따라 박막 구조에서 나노막대 형태로 변화하였으며, ZnO의 광학적 특성 및 구조적 특성에 대한 변화를 관찰하기 위해 광발광(Photoluminescence ; PL), 주사전자현미경(Scanning electron microscope ; SEM), 투과전자현미경(Transmission electron microscope ; TEM)을 이용해 분석 하였다. |
| 저자 | 한원석, 공보현, 김동찬, 최미경, 조형균 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | ZnO; MOCVD |
