| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | Display |
| 제목 | Y3Al5O12:Ce 형광체 박막의 발광 특성 |
| 초록 | Ce3+를 첨가시킨 Yttrium Aluminum Garnet(Y3Al5O12, YAG)를 rf 마그네트론 스퍼터링 방법으로 박막화를 시도하고, 증착 변수와 열처리 조건이 박막의 합성과 발광특성에 미치는 영향을 관찰하였다. O2/Ar 가스 분압비, rf 전력, 증착 시간을 증착 변수로 하였고, 산화 분위기와 N2+Vacuum 분위기에서 1200℃에서 5시간동안 열처리를 하였다. 증착된 박막은 비정질에 가까웠으나, 열처리후에는 결정질로 상전이가 일어났음을 XRD로 확인할 수 있었다. 또한 열처리 후의 박막을 PL로발광 특성을 분석한 결과 O2/(O2+Ar)비가 50%인 산소 분압의 조건에서 증착된 막이 550nm에서 노란색 발광이 되는 것을 확인할 수 있었다. |
| 저자 | 김주원, 한상혁, 김영진 |
| 소속 | 경기대 |
| 키워드 | YAG:Ce; Phosphor; Thin Film |
