| 초록 |
본 연구에서는 기존의 진공 스퍼터 시스템이 아닌 spin coating 방법을 이용하여 IZTO 박막을 유리 기판에 성막하고 rapid thermal annealing (RTA) 급속 열처리 온도와 열처리 분위기에 따른 전기적, 광학적 특성을 분석함으로써 인쇄형 전극으로의 활용가능성을 타진하였다. Spin coating 공법으로 제작된 IZTO 투명전극의 전기적 특성 및 광학적 특성 분석은 four-point probe, hall effect measurement 및 UV/Visible spectrometer를 이용하여 각각 분석되었으며, RTA 공정 중 N2가스 분위기 가스 유입, RTA 공정 압력 및 400℃~700℃ 온도 범위에서의 후열처리 공정을 이용하여 전기적 특성 및 광학적 특성을 최적화시켰다. Spin coating 공정 및 RTA를 이용한 후 열처리 공정을 통하여 최적화된 IZTO 투명 전극으로부터 45 ohm/sq의 면저항 값과 81.62%의 우수한 가시광선 영역 광투과율을 확보할 수 있었으며, 최종적으로 IZTO의 구조적 특성 및 표면적 특성 분석을 x-ray diffraction 및 field effect scanning electron microscopy를 이용하여 분석함으로써 spin coating 방법을 이용한 IZTO 투명전극의 인쇄형 전극으로의 활용가능성을 확인하였다. |
